第83章 nm光刻机(第1/2页)

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“龙脊”工业园的落成和“洞察-iii”侦察卫星网络的成功组建，标志着华盟在宏观的机械制造、材料合成乃至航天领域取得了令人瞩目的成就。

然而，在“龙渊”指挥中心的最深处，马小淘和李院长都清醒地意识到，华盟的未来，乃至整个文明升级的基石，并不仅仅在于这些“宏大”的工程，更在于那微观尺度上的极致雕琢——更高精度的集成电路。

现有的

“烛龙-i型”i-line（365nm）光刻机

虽然成功制造了“龙芯-i型”处理器，但其

0.8微米（800纳米）

的制程和可怜的良品率，已经成为制约整个技术体系进一步发展的最大瓶颈。更先进的火控计算机、卫星数据处理单元、“区域战略指挥网络”的核心交换机、乃至未来可能的人工智能项目，都需要更强大、更精密的“大脑”。

在“龙渊”下属的微电子研发中心，气氛凝重。硅魂和他的团队正面对着一面写满了公式、图表和问题清单的白板，一筹莫展。

“i-line光源的极限就在这里了！”一位光学工程师用力点着白板，“365纳米的波长，衍射效应决定了我们的线宽极限就在0.8微米附近！想要更精细，要么寻找更短波长的光源，要么…”他顿了顿，说出了那个令人绝望的词，“…推翻重来！”

推翻重来？意味着要重新研发一套全新的光学系统、光源、乃至配套的光刻胶和工艺。这对于刚刚站稳脚跟的华盟微电子工业来说，无异于一场豪赌。

硅魂推了推空气眼镜，眼中布满了血丝，但目光却异常坚定：“我们必须跨过去。系统奖励的‘区域战略指挥网络’蓝图里，对核心处理器的算力要求是现在的十倍以上！没有更先进的芯片，一切都是空谈。”

他转过身，看向团队：“i-line的路走到头了。我们必须挑战深紫外（duv）。目标是——198纳米！奥利给！！！”

198nm！这意味着他们要跨越一个巨大的技术鸿沟，从传统的汞灯光源，迈向全新的准分子激光光源领域！

目标确立，但前路遍布荆棘。硅魂迅速将难题分解，并请求华盟技术统筹委员会支援，一场联合攻坚战打响。

1.

天堑一：光源——“弑神之光”计划

*

难题：

198nm波长的光源，需要氟化氩（arf）准分子激光器。这玩意儿可不是简单的灯泡，它需要超纯度的特殊气体混合、精密的高压放电激发、复杂的光学谐振腔、以及极其稳定的能量控制。

*

攻关：

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